花了这么多钱的32nm有什么好处了?自然是更低的功耗和更好的性能了。
Intel High-k Metal Gate晶体管,这两个技术都是为了增强晶体管的场效应和降低其漏电
Intel代号P1268的32nm CPU制造工艺仍然是基于High-κ(这个希腊字母有时贪图快捷的话也写作英文字母的K)和Metal Gate技术,只是High-κ介质层的厚度已经从45nm工艺的1nm降低到0.9nm,Metal Gate金属栅极间距也缩小到上一代的70%,因此32nm上的High-k Metal Gate工艺被称为第二代 High-k Metal Gate工艺。Intel 32nm工艺提供了112.5nm的晶体管金属栅极宽度,是已知相同制造工艺中的最尖端水平。
Intel 32纳米制造工艺技术特性,在重要的金属层上,Intel使用了浸没式光刻技术(可以矫正折射率方面的影响)
晶体管性能方面,如下图所示,Intel 32nm工艺可以在同样IOFF(漏电流)情况下让ION(驱动电流)提升14%(NMOS晶体管)或22%(PMOS晶体管),或者在同样ION情况下让IOFF降低到原来的1/5(NMOS)或者1/10(PMOS),要功耗还是要性能?任君选择,当然更现实的是一样来一点。(注:下图老外用的是:NMOS降低超过5x、PMOS降低超过10x,但是汉语上来说,没有“降低X倍”这种说法)
32nm晶体管对45nm的性能提升
此外,Intel 32nm工艺还应用了第四代应变硅材料。最后,还有Low-K介质和铜互联技术,已经成为了一种基本的工艺技术。这些工艺都可以降低功耗、提升性能。