Intel Silverthorne Atom Microarchitecture
| IF1 | IF2 | IF3 | ID1 | ID2 | ID3 | SC | IS | IRF | AG | DC1 | DC2 | EX1 | FT1 | FT2 | IWB/DC |
| Instruction Fetch | Decode | Dispatch | Reg. File | Data cache read | Execute | Exceptions & MT | Write-back | ||||||||
16 stage Pipeline: Intel Silverthorne Atom
写回是Atom处理器流水线的最后一级，指令结果会被写入到寄存器文件和缓存当中。Atom具有不对称的L1缓存结构：指令缓存为32KB，而数据缓存只有24KB。Atom具有512KB L2缓存。特别地，Atom还具有10.5KB C6缓存用来保存在深睡眠状态下的架构状态数据，这时核心电压已经降到了0.3V。
Atom的L1实现了1位校验，无ECC功能。Atom的L2实现了ECC，8路集合关联，可以以9个时钟周期的延迟和L1交换数据。和Nehalem一样，不需要用到的缓存块可以被关闭。
8-T SRAM VS 6-T SRAM
为了适用低电压，这些缓存使用了8-T静态随机存取器技术，这个技术在Nehalem/Dunnington行也有采用。和通常采用6个晶体管来保存一位数据不同，8-T晶体管技术增加了两个晶体管以分开读和写通道。8-T静态随机存取器技术使用更低的工作电压，因此更为省电。由于Silverthorne Atom里面缓存部分所占面积几乎达到了50%，因此这一举动无疑非常重要。
除了8-T SRAM技术之外，Atom还采用了如double stacked PFET这样的技术来降低能耗。
