长期以来，Alpha系列处理器都是可利用的执行效能最高的处理器，新的833MHz 21264B更是与Intel的Itanium不相上下，同时其Alpha EV6总线也被AMD用到了X86的K7系列处理器中，并表示出了极高的执行效能。
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Alpha21364首先是整合1.5MB L2 cache进CPU，然后是使用带宽为6GB/s 的800MHz RAMbus内存。为了加强对SMP系统的支持，Alpha整合了在多CPU状态下CPU之间互相通讯所必须的网状接口。这些功能从主板上移到CPU上，可以增加给CPU-CPU的访问带宽增加10GB/s。以前我们很少能看到超过4个处理器的Alpha系统，然而21364将改变这个状况，16-32个CPU的系统非常具有竞争力。21364使用了超过1亿个晶体管，初次登场在2000年中期而且拥有1GHz的时钟频率。
2000年5月，康柏向全球发布了Alpha Server GS高端服务器系列，燃起了新一代Alpha服务器的熊熊烈火。2001年6月，Alpha迎来了发展历史上的一个重要时刻—康柏向Intel转让Alpha微处理器和编译技术、工具及资源，这一事件为未来64位计算带来了深远的影响。
